PBA XY中空回字平台

集成、低组装、XY、中空直线电机平台
出色的几何性能
针对高动态应用进行了优化
速度 2 m/s ，加速度 1G
提供定制解决方案

分类： PBA精密平台

描述

平台专为高速、高精度、低整定时间而设计。该平台适合高精度应用，从需要高动态和微米级直线度的双面晶圆加工，到需要高精度和精确几何性能的DX B无铁芯直线电机驱动的准静态光学量测。