PBA 双滑座XYZθ多轴精密平台

Category: PBA精密平台

Description

双滑座XYZθ工作台用于高精度晶圆探针应用。双滑座XYZθ工作台由PIX有铁芯直线电机驱动，并针对高动态应用进行了优化，以较低的整定时间提供高速和高精度。可根据需求定制。