PBA单平面XY气浮平台

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PBA 亚微米级单平面XY气浮平台基于低组装、XY对称结构设计,采用高刚性大理石底座磁力预载设计增强稳定性,具有良好的几何性能。

PBA 亚微米级单平面XY气浮平台采用 PBA 无铁芯直线电机,零齿槽功能有助于降低整定时间,从而提供出色的平滑运动和定位精度。