应用: AOI
组装: XY工作台
行业: 半导体行业的模具校正应用
X 轴和 Y 轴上的高精度电机运动,允许根据规格校正模具放置。
光学感应行程:120mm
分辨率:0.07(模拟)
直线度 : 20 um
Mitsubishi - 伺服驱动器
Servo Drivers
PBA MaxTune 智能伺服驱动器, 控制器
Servo Drive
编码器
Encoders
PBA直线电机
Voice Coil Actuator
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