- 具有 2 个输入和 2 个输出站的双头龙门架
- 与 DX 无铁芯直线电机配对使用，4x Z 头
- 改进的运动性能
- 更好的加速和减速
- 更快的速度和更短的加速距离
- 更平稳的运动使系统更稳定，位置误差更小
PBA XYZ 执行器组件
应用：晶圆视觉分选机
组装：晶圆分拣机
行业：半导体
具有 2 个输入和 2 个输出站的双头龙门架。 与 DX 无铁芯直线电机配对使用，4x Z 头具有改进的运动性能和更好的加速和减速。
更快的速度和更短的加速距离，而更平稳的运动也使系统更稳定，位置误差更小。
