PBA XYZ 执行器组件

应用：晶圆视觉分选机

组装：晶圆分拣机

行业：半导体

具有 2 个输入和 2 个输出站的双头龙门架。 与 DX 无铁芯直线电机配对使用，4x Z 头具有改进的运动性能和更好的加速和减速。

更快的速度和更短的加速距离，而更平稳的运动也使系统更稳定，位置误差更小。

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  • 具有 2 个输入和 2 个输出站的双头龙门架
  • 与 DX 无铁芯直线电机配对使用，4x Z 头
  • 改进的运动性能
  • 更好的加速和减速
  • 更快的速度和更短的加速距离
  • 更平稳的运动使系统更稳定，位置误差更小

产品特征

X-轴 5G Y-轴 3G UPH: 10,000

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