PBA XYθ大中空孔高精度工作台

分类： PBA精密平台标签：直驱平台

描述

平台结构紧凑、低组装，大中空孔，高动态性和优异的几何性能。

平台从需要高动态性和微米级直线度的双面晶圆加工，到由DX B、ARC无铁芯电机驱动的准静态光学量测,需要高精度和精确的几何性能。