PBA 亚微米级单平面XY气浮平台基于低组装、XY对称结构设计,采用高刚性大理石底座磁力预载设计增强稳定性,具有良好的几何性能。
PBA 亚微米级单平面XY气浮平台采用 PBA 无铁芯直线电机,零齿槽功能有助于降低整定时间,从而提供出色的平滑运动和定位精度。
PBA MaxTune 智能伺服驱动器, 控制器
Servo Drive
数字 & 模拟 I/O 模块
Digital & analog I/O modules
PBA直线电机
Linear Shaft Motor
Servotronix - 伺服驱动器
Servo Drivers
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